淺析光圈、局部光圈與PV、RMS
面型是光學(xué)制造中的重要精度指標(biāo)之一，簡單來說是表面不平整度。面型就好像鋪水泥路面，鋪的好的表面很平整，沒有坑坑洼洼，車子開過去好的路面很平穩(wěn)、不好的坑坑洼洼的，就顛簸得厲害！
面型的兩個參數(shù)PV和RMS值，PV是表示路面的最高處與最低處的差值，即波峰波谷值；RMS值是全部路面高低的平均值，即均方根值。因此，PV值能夠做到0.1個波長，RMS值至少在0.02左右，一般來說，PV值是RMS值的6-8倍。目前很多商家說出所謂的1/8波長或1/10波長實際上多指RMS值，其PV值往往達不到1個波長，而良好的天文觀測器材應(yīng)該具備PV=1/2波長才算是精度比較好的。
在實際中，光學(xué)圖紙對光學(xué)零件的要求用光圈數(shù)（N）和局部光圈（△N）表示，而對于高精度光學(xué)元件用ZYGO干涉儀檢測卻是pv和rms值。當(dāng)然，用ZYGO也可以測出光圈、局部光圈、PV、RMS，不同的設(shè)置測出來的是不同的，并不是出來的都是PV。
光圈（N）和PV的關(guān)系是：光圈好的，PV肯定好；PV好的，光圈不一定好。PV是光圈的波峰和波谷的相對值，不考慮局部誤差的影響，而說光圈時一般要考慮局部光圈誤差的影響。
用ZYGO儀器測量光學(xué)零件的光圈（N），讀的不是很準(zhǔn)，要讀的話就是軟件上面surface map 中的power值，不過要把單位轉(zhuǎn)化成光學(xué)單位。至于局部光圈則讀profile map中的pv直，很準(zhǔn)確，把surface map 中的line放在最高點和最低點位置，看高或低所占的pv的比例就行。
圖紙中的光圈數(shù)是加工元件與樣板的偏差而產(chǎn)生的干涉條紋數(shù)，而干涉儀測量時，參考球半徑（類似于樣板半徑）可變，條紋多少是可以變化的，測量結(jié)果（PV和RMS值）是加工元件與最接近參考球的偏差。
一道圈是面型偏差有二分之一個波長大小，546.1nm是標(biāo)準(zhǔn)波長，PV是面型偏差的最大值，除以546.1就是幾分之幾波長，和二分之一個波長比較，有幾個二分之一波長就有幾到圈。
總之，光圏和PV、RMS是兩種不同的評價標(biāo)準(zhǔn)。局部光圈如果作為PV來評價的話，技術(shù)指標(biāo)比PV值還要高。
